Для достижения максимального разрешения в системах проекции масок требуется многополюсное освещение зрачка. Дифракционные оптические элементы (ДОЭ) от Jenoptik эффективно создают такие распределения с высокой точностью и равномерностью как внутри отдельных полюсов, так и между ними.
Мы используем высококачественные материалы для всех наших дифракционных элементов. Это обеспечивает длительный срок службы, даже в случае интенсивного ультрафиолетового лазерного облучения.
---