Высокоскоростные ходы
Увеличение скорости ходов насоса (максимум 240 с/мин) привело к уменьшению размеров, веса и затрат на изготовление насоса, а также к снижению пульсации.
Примечание: Ходы насоса отличаются в зависимости от модели насоса.
Конструкция без загрязнений
Все детали, контактирующие с жидкостью, изготовлены из фторкаучука. Насос сконструирован таким образом, что ни одна металлическая часть не подвергается воздействию. Внешняя поверхность также покрыта фторкаучуком. Использование уплотнения вала (патент заявлен), нашей собственной разработки, значительно снижает образование частиц.
Широкий диапазон температур жидкости/
Нагнетание высокого давления
Поскольку насос может работать с жидкостями с температурой от 5 до 180˚C при давлении нагнетания до 0,45МПа, его можно использовать не только для процессов промывки и CMP, но и для подачи химических жидкостей.
Удобство технического обслуживания
Бесконтактный датчик может быть заменен без разборки насоса, а регулярная подтяжка шпилек не требуется, что приводит к сокращению времени простоя.
Система сенсорного привода
В насосе используется система сенсорного привода, которая открывает/закрывает соленоид с помощью встроенного бесконтактного выключателя. Поэтому при подключении к различным контроллерам можно легко контролировать или управлять разряжением.
---