Конструкция без загрязнений
Все торцевые части жидкостей изготовлены из фторсодержащей смолы, обладающей наилучшей устойчивостью к высоким температурам и агрессивным химическим веществам. Передача агрессивных жидкостей осуществляется безопасно и без выброса твердых частиц.
Система сенсорного привода
Благодаря использованию внутренних бесконтактных датчиков система сенсорного привода открывает/закрывает соленоид. Обеспечивается надежная работа и стабильность даже при низкой скорости хода.
Для обработки отдельных пластин мы предлагаем FA-2E - боковой тип для низких скоростей потока, оснащенный системой распыления. С помощью FA-40VEW, вертикального типа для высокой скорости потока, можно очищать пластины до 200 / 300 мм.
Отличную устойчивость к высоким давлениям обеспечивают толстые сильфоны H-образной формы (FA-40VEW) и гарантируют длительный срок службы при непрерывной эксплуатации. В случае использования специального привода насоса можно легко управлять и контролировать нагнетание.
---