XY-ступени с открытой рамой, разработанные с низким профилем для широкого спектра приложений автоматизированного точного позиционирования
Механизм линейного моторного привода расположен на боковой стороне агрегата и обеспечивает четкое беспрепятственное просветление по двум осям, что позволяет пропускать свет или объекты через центр перемещения.
Стол XY с прецизионными линейными энкодерами с разрешением 1 мкм
Инсульт XY : mm 200x200
Диафрагма: мм 200х200
Столешница: мм 380х380
Высота: мм 140
Точность : микрон 10
Задний люфт: микрон 0 (линейный двигатель/кодировщик)
Прямолинейность: микрон 10
Разрешение: микрон 0,5; 1,0
Тип двигателя : Линейный двигатель/кодировщик (опция)
Повторяемость: микрон 1 (линейный двигатель/кодировщик)
Грузоподъемность: кг 10
Вес стола: кг 15
Максимальная скорость: мм/сек 600 (линейный двигатель)
---