Роторный стол с двигателем PSR-200MHS

горизонтальныйдля станкакомпактный

Поворотные столы Planar ServoRing обеспечивают превосходное угловое позиционирование и разработаны для устранения люфта, трения и износа, связанных с червячными, зубчатыми и ременными передачами. Низкие эксплуатационные расходы и высокая производительность каскада Planar ServoRing обеспечивают самую низкую совокупную стоимость владения. Компактный корпус и улучшенная конструкция поворотных ступеней Planar ServoRing были оптимизированы для минимизации высоты ступени. Низкий профиль каскада позволяет уменьшить общую рабочую высоту системы. Радиально-упорные подшипники используются для обеспечения максимальной эффективности в отношении колебаний, момента жесткости и трения. Этап ULTRATHIN ServoRing имеет большое свободное центральное отверстие, которое может быть использовано для подвода воздуха или проводов, а также для подачи пучка. В системе Planar ServoRing используется технология прямого привода трехфазного планарного бесщеточного двигателя. Замена щеток, обслуживание зубчатых передач и ремней не требуется. магнитная конструкция "Lo-Cog" обеспечивает плавное вращение и динамические характеристики. Низкая инерционность и нулевой люфт делают Planar ServoRing идеальным решением для систем, требующих частой смены направления вращения. Точное позиционирование обеспечивается бесконтактным энкодером типа MHS. Двигатель и поворотный энкодер соединены напрямую, что исключает люфт муфты. Энкодер MHS позволяет достичь точности 5 угл. сек. для PSR300 и 8 угл. сек. для PSR200. Полупроводниковая сборка Сборка электроники Прецизионные станки Роботизированные манипуляторы Обработка пластин Автоматизация