Зонд Ленгмюра Plato

плотность плазмы

Платонный зонд представляет собой плоский зонд Langmuir, предназначенный для работы в плазме осаждения при нанесении изоляционной пленки на поверхность зонда. Этот осадочно-устойчивый зонд Langmuir может оставаться внутри плазменного реактора, пока используются агрессивные изоляционные газы. Платформенный зонд измеряет такие параметры плазмы, как плотность плазмы, плотность тока ионов и температуру электронов в плазмах с высокой скоростью осаждения, таких как плазменное химическое осаждение парами (ПЭВХД). В течение многих лет было трудно измерить параметры плазмы в среде с высоким уровнем осаждения. Impedans разработала революционную технологию, которая измеряет параметры плазмы, даже если на поверхность зонда нанесен толстый изоляционный слой. Платонный зонд представляет собой плоский зонд Langmuir для плазменного осаждения при нанесении изоляционной пленки на поверхность зонда. Платонный зонд является первым на рынке датчиком Лангмуира, который может работать в плазме с высокой скоростью осаждения. Уникальной особенностью зонда Plato Probe является его способность точно измерять ключевые параметры плазмы через осажденный слой толщиной в несколько микрон. Осаждение изоляционных слоев не влияет на точность измерения датчика. Платозонд является уникальным прибором, позволяющим ученым измерять плотность плазмы и электронную температуру плазмы, включая плазму осаждения. Платформенный зонд обеспечивает измерение параметров плазмы в постоянном, радиочастотном, микроволновом, непрерывном и импульсном режимах плазмы.