Зонд Ленгмюра Spatial

с плавающим потенциаломпотенциал плазмы

Пространственный зонд Langmuir использует автоматический линейный привод для сканирования через плазму и измерения параметров плазмы в различных местах. Пространственное профилирование плазмы может помочь решить проблемы, связанные с однородностью. Пространственный зонд Лангмуир измеряет пространственный профиль плазмы: плотность плазмы, плавающий потенциал, потенциал плазмы, плотность тока ионов и функцию распределения электронной энергии. Наша система использует самую современную теорию датчиков, основанную на Orbital Motion Limited и, по мере изменения режимов давления, переходит к Allen Boyd Reynolds для учета столкновений. Зонд Langmuir, оснащенный системой линейного привода, помогает характеризовать параметры плазмы в различных местах плазменного реактора. Пространственный зонд Лангмуир является ключевым инструментом, используемым для измерения внутренних параметров плазмы при использовании автоматического линейного привода для сканирования большей части плазмы. Основными измеряемыми параметрами являются электронная плотность, плотность ионов, температура электронов, потенциал плазмы, плавающий потенциал и функция распределения электроэнергии (EEDF). Пространственный зонд Langmuir обеспечивает измерение характеристик плазмы в постоянном, радиочастотном, микроволновом, непрерывном и импульсном режимах плазмы. Пространственный зонд Langmuir анализирует траектории ионов и электронов для получения точных измерений параметров плазмы в широком спектре плазменных применений. Пространственный зонд Langmuir является самым быстрым и надежным в мире зондом Langmuir (временное разрешение 12,5ns). В дополнение к скорости и надежности. Зонд Langmuir обеспечивает самый современный и надежный, полностью автоматизированный анализ данных в режиме реального времени.