Нитрид тантала (TaN) обладает превосходными физическими, химическими и механическими свойствами (такими как высокая твердость, износостойкость, химическая инертность, термическая стабильность и низкотемпературный коэффициент сопротивления), и широко используется в износостойких покрытиях, тонкопленочных резисторах и интегральных схемах Диффузионные барьеры и других областях в Китае.
Молекулярная масса: 194,9
Плотность: 13,4 г/м3
Цвет: серый
Температура плавления: 3090℃
Содержание азота: ≥6.8
Температура кипения: 4800℃
EINECS (EC №):234-788-4
Нитрид тантала (TaN) имеет отличные физические, химические и механические свойства (такие как высокая твердость, износостойкость, химическая инертность, термическая стабильность и низкий температурный коэффициент сопротивления), и широко используется в износостойких покрытий, тонкопленочных резисторов и интегральных схем Диффузионные барьеры и других областях в Китае.
1.Высокая чистота: наивысшая чистота может достигать 99,99%, XRD обнаруживает отсутствие примесных фаз.
---