Система обнаружения частиц PD Xpadion

Инспекционная платформа нового поколения для удовлетворения будущих потребностей PD-Xpadion - это последнее поколение линейки оборудования для контроля частиц HORIBA. Основанная на инновационном модульном дизайне платформы, PD Xpadion является правильным инструментом для удовлетворения текущих и будущих потребностей в инспекции масок и частиц в процессах литографии и производства масок. Автоматизация установки в сочетании с набором основных технологий HORIBA позволяют пользователям расширить систему PD Xpadion, включив в нее не только контроль и обнаружение частиц, но и определение характеристик частиц с помощью рамановского анализа, определение толщины и однородности пленки пелликулы, а также средства мониторинга состояния пелликулы. Характеристики Регулируемая чувствительность обнаружения за счет использования комбинации оптических систем OHT, EFEM, многопортовая, многощелевая адаптация Возможность повторного анализа данных контроля для более быстрой оптимизации рецептов контроля Возможность интеграции с другими сенсорными продуктами HORIBA, такими как рамановская спектроскопия и эллипсометрия Функция уменьшения ложных обнаружений Инновационное программное обеспечение с улучшенным удобством использования