Спектроскопический эллипсометр

Horiba предлагает большой ряд разрешений для проверки качества тонкой пленки. Широкий массив ellipsometer как in-situ и in-line использован в контролируя процессах в исследовании и в индустрии. От тонкой пленки контролируя к составлять карту обширного района и встроенная характеризации гибких приборов. In-situ спектроскопические ellipsometers позволяют в реальном масштабе времени контроль и контролировать низложения тонкой пленки с разрешением sub-монослоя. Оно обеспечивает в реальном масштабе времени оценку толщины пленки и оптически констант.