Машина для нанесения покрытий физический в паровой фазе OPT-E

тонких слоеввакуумнаяоптическая

Обзор
OPT-E — установка оптического напыления электронным пучком для нанесения оптических и функциональных тонких пленок на стекло, кварц, кремниевые подложки и керамику. Типичные применения: мобильное 3D‑стекло, прецизионные оптические линзы и полупроводниковые пластины. Система включает дефлекторную электронную пушку с медным тиглем с водяным охлаждением и поддерживает кристаллический и оптический мониторинг для точного управления многослойными покрытиями. Доступны настраиваемые ионные источники для повышения плотности и адгезии пленок.

Ключевые преимущества

• Дефлекторная электронная пушка с водоохлаждаемым медным тиглем для испарения материалов с высокой температурой плавления и оксидных керамик
• Кристаллический и оптический мониторинг для точного контроля толщины и спектральных характеристик
• Опции ионно‑ассистированного осаждения (RF, полый катод, нитевой Hall) для повышения плотности и адгезии пленок
• Гибкие купольные или планетарные держатели изделий для непрерывных многослойных процессов (AR, HR, фильтры)

Функции

• Источник испарения — электронный пучок
• Системы кристаллического и оптического мониторинга для управления многослойными покрытиями
• Конфигурируемые типы ионных источников: RF, полый катод, нитевой Hall
• Держатели изделий: интегрированная купольная конфигурация или 4‑осевой планетарный диск; вращение по орбите или планетарное вращение с бесступенчатым регулированием скорости переменной частоты
• Панель управления с сенсорным экраном и PLC‑автоматизация

Параметры изделия
Модель: OPT-E
Технология нанесения: электронно‑лучевая испарительная обработка
Принцип работы: физическое осаждение из паровой фазы посредством высокоэнергетической электронно‑лучевой испарения
Материалы подложек: стекло, кварц, кремниевые пластины, керамика
Типичные применения: мобильное 3D‑стекло, прецизионные оптические линзы, полупроводниковые пластинки
Типы покрытий: AR, HR, оптические фильтры, полупроводниковые электроды/контактные слои, AF (анти‑пальцы) пленки
Распространённые материалы покрытий: SiO2, TiO2, ZrO2, SiO
Источник испарения: дефлекторная электронная пушка с водоохлаждаемым медным тиглем
Предельный вакуум: 6 × 10⁻⁴ Па (без нагрузки, условия чистой комнаты)
Опции диаметров камеры: Ø900 / Ø1100 / Ø1350 / Ø1550 / Ø1800 / Ø2050 / Ø2350 / Ø2700 мм
Высота камеры: 1500 мм
Держатель деталей: купольный держатель / планетарный плоский диск
Спецификация держателя: интегрированная купольная конфигурация / 4‑осевой планетарный диск

Технические характеристики

• Модель: OPT-E
• Метод нанесения: электронно‑лучевая испарительная обработка (дефлекторная электронная пушка + водоохлаждаемый медный тигель)
• Мониторинг: кристаллический и оптический мониторинг для контроля толщины и длины волны
• Ионная поддержка: настраиваемые опции RF, полый катод или нитевой Hall ионный источник
• Поддерживаемые подложки: стекло, кварц, кремниевые пластины, керамика
• Поддерживаемые покрытия: AR, HR, оптические фильтры, полупроводниковые электроды/контактные слои, AF
• Распространённые материалы: SiO2, TiO2, ZrO2, SiO
• Вакуумные характеристики: до 6 × 10⁻⁴ Па (без нагрузки, условия чистой комнаты)
• Размеры камеры: диафаметры Ø900–Ø2700 мм; высота камеры 1500 мм
• Держатели изделий: купольные или планетарные (интегрированная купольная конфигурация или 4‑осевой планетарный диск), регулировка скорости с переменной частотой
• Управление: сенсорный экран и PLC‑автоматизация