Машина для нанесения покрытий PECVD DLC800

Обзор
Компактное оборудование для DLC-покрытий для мелкосерийного производства износостойких и низкофрикционных покрытий. Huasheng DLC800 — компактная установка, разработанная для промышленного мелкосерийного нанесения покрытий. Она сочетает магнитронное распыление (MS) и PECVD для осаждения Cr/WC/a-C:H DLC-покрытий с низким коэффициентом трения, высокой износостойкостью, гладкой поверхностью и прочным сцеплением покрытия.

Ключевые особенности

• Компактная конструкция камеры для уменьшения занимаемой площади и поддержки гибких мелкосерийных процессов.
• Гибридная технология MS + PECVD для получения Cr/WC/a-C:H DLC-пленок с гладкой морфологией и надежной структурой пленки.
• Плазменная очистка и SET-эстчение для повышения адгезии между подложкой и покрытием.
• Автоматическое управление процессом, модульные компоненты и простое обслуживание для упрощения эксплуатации.

Основные характеристики

• Типичная толщина покрытия: 2–4 µm
• Низкий коэффициент трения: ≤0,1
• Твердость покрытия: ≈2500 HV
• Типичная температура напыления: <200°C

Параметры продукта
Модель: DLC800
Технология покрытия: MS + PECVD
Этчинг: SET
Габариты: L4850 × W1600 × H2400 mm
Объём камеры: 0,8 m³
Эффективная площадь покрытия: Φ650 × 400 mm
Температура напыления: <200°C
Вместимость: по заказу
Макс. груз: 500 kg
Диаметр шпинделя: Φ170 mm
Время обработки: 6–8 h

Характеристики / технические спецификации

• Модель: DLC800
• Покрытие: Cr/WC/a-C:H DLC (MS + PECVD)
• Типичная толщина: 2–4 µm
• Коэффициент трения: ≤0,1
• Твердость: ≈2500 HV
• Эффективная площадь покрытия: Φ650 × 400 mm
• Макс. груз: 500 kg
• Объём камеры: 0,8 m³
• Температура напыления: <200°C
• Время обработки за партию: 6–8 h