С нашей автоматизированной системой транспортировки на роликовых конвейерах для чистых помещений ручная транспортировка пластин в полупроводниковых цехах уходит в прошлое. Автоматизированная транспортировка материала к технологической системе экономит ценное время оператора, сокращает время проходки и, следовательно, повышает общую эффективность производства.
Интеллектуальная конвейерная система для полупроводниковой промышленности
Роликовый конвейер, совместимый с чистыми помещениями, транспортирует различные типы транспортных коробок, таких как FOUP, капсулы SMIF, коробки HA200, открытые кассеты с вафлями и коробки с вафлями по индивидуальному заказу.
Расположенные по зонам, отдельно приводимые в действие приводные двигатели роликового конвейера гарантируют автоматическую транспортировку без столкновений. Кроме того, система может ускорять или замедлять перемещаемые товары с разной скоростью в секциях. Чтобы обеспечить синхронизацию приводной стороны с пассивными роликами, ролики соединены с полыми валами через равные промежутки.
Универсальная комбинация линейных, подъемных и вращающихся элементов системы позволяет реализовать индивидуальные решения по транспортировке пластин в полупроводниковых фабриках. Она предоставляет отличные возможности, особенно для максимального использования ограниченного пространства. Транспортная система может интегрировать несколько производственных уровней фабрики.
Благодаря включению в процесс транспортировки дополнительных рабочих операций, таких как считывание идентификаторов носителей и пластин, картирование и выравнивание пластин, она значительно экономит время на маршруте транспортировки.
Наконец, особенностью конвейерной системы для чистых помещений является простое и гибкое управление с помощью встроенных микроконтроллеров.
---