Автоматическая система хранения и обработки EUV

Эти системы обработки EUV-излучения от Fabmatics отвечают таким требованиям, как надежность и чистота при обработке EUV-излучения. Технология EUV, как специальная технология освещения, используемая для производства высококлассных элементов микроэлектронных конструкций, устанавливает высочайшие стандарты надежности и чистоты при работе с EUV-стеклами. Решения Fabmatics соответствуют этим стандартам. Системы обработки EUV-гранул выпускаются как в виде отдельных устройств, например, сортировщиков, так и в виде модулей для фронтального оборудования, например, систем загрузки. Важными компонентами здесь являются загрузочный порт Fabmatics для капсул RSP и двойных капсул, широкий спектр модулей обнаружения, захватов и перекидного оборудования.