Система контроля для стеклянной поверхности GWI

для полупроводниковой пластины

Система GWI была создана для обнаружения дефектов стеклянных пластин на ранних стадиях производственного цикла. Система основана на интеллектуальной камере с высоким разрешением для обеспечения требуемой точности обнаружения дефектов. Полная оценка пластины производится с помощью интеллектуальной камеры. Снимок стеклянной пластины делается и обрабатывается непосредственно в камере. Полученные данные и изображения передаются в ПЛК. Существует также возможность подключения дисплея к камере для просмотра результатов на экране. Для выполнения процесса оценки доступны Ethernet, RS232 и подключение входов/выходов питания. Power I/O содержит также интерфейс RS232. Система GWI обнаруживает поверхностные ошибки стеклянных пластин, такие как царапины, частицы и ошибки подложки.