CDG100D
Манометры INFICON SKY CDG100D являются лучшим выбором для точного измерения и контроля общего давления. Приборы CDG100D контролируют температуру при 100 °C для обеспечения превосходных характеристик в сложных полупроводниковых и плазменных процессах. Они доступны для полного диапазона от 100 mTorr до 1000 Torr, со всеми распространенными типами фланцев и интерфейсами полевой шины и обеспечивают линейный сигнал от 0 до 10 В, независимый от типа газа, сигнал давления. В емкостных манометрах INFICON используется сверхчистая мембрана из алюмооксидной керамики, устойчивая к коррозии. Преимущества керамического датчика - лучшая стабильность сигнала, более быстрое восстановление из атмосферы, короткое время разогрева и исключительный срок службы. INFICON CDG - это высококачественные, экономичные датчики давления для требовательных полупроводниковых, плазменных и вакуумных применений.
Преимущества
Нижний СЕО (стоимость владения), 50% быстрый нагрев, низкое энергопотребление
Простая интеграция, широкий выбор полных весов, фланцев и интерфейсов, стандартный с двумя заданными точками
Простое одно нажатие кнопки или удаленный сигнал нулевой команды, смещение нуля регулируемое
Диагностический порт для быстрого обслуживания и ремонта
Двухлетняя гарантия, более длительный срок службы с усовершенствованной концепцией отопления и защиты датчика
Отсутствие долгосрочной повторной калибровки благодаря отличной стабильности и воспроизводимости сигнала даже в жестких условиях применения плазмы
Соответствие и стандарты: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
Типичные применения
Этчевые, CVD, PVD и другие полупроводниковые производственные процессы
Химические и коррозионные высокотемпературные процессы
Общие процессы на тонких пленках и в вакууме, требующие защиты манометра
---