CDG025D
Линия высокоточных манометров с температурной компенсацией INFICON SKY CDG025D с мембранной емкостью предназначена для стабильной работы в жестких условиях эксплуатации производственного инструмента. Усовершенствованная цифровая электроника улучшает эксплуатационные характеристики датчика и предлагает простые в обращении функции, такие как функция обнуления при нажатии одной кнопки и регулировка уставки. Устойчивый к коррозии керамический датчик обеспечивает отличную нулевую стабильность при длительном сроке службы в несколько миллионов циклов под давлением, включая атмосферные взрывы. Уникальное экранирование датчика (патент заявлен) защищает манометр от загрязнения процесса. Прочная механическая конструкция и цифровая электроника улучшают электромагнитную совместимость, долгосрочную стабильность и температурную компенсацию. CDG025D устанавливает новые стандарты для быстрой стабильности после включения питания и быстрого восстановления после воздействия атмосферного давления.
Преимущества
Полный диапазон от 100 мТорр ... 1000 мТорр
Быстрая стабильность после включения питания
Быстрое восстановление после атмосферного давления
Коррозионно-стойкий керамический датчик
Отличная долгосрочная стабильность сигнала
Температурная компенсация
Датчик защищен от загрязнения
Одна кнопочная функция нуля
Широкий диапазон источников питания
Типичные применения
Оборудование для производства полупроводниковых приборов для травления, CVD, PVD, ALD
Оборудование для хранения и отображения информации при производстве
Промышленное вакуумное оборудование
Общее высокоточное измерение давления
---