LiquidLens™ LLD2 Система дегазации UPW UPW
UPW дегазация для иммерсионных литографов
Система LiquidLens LLD2 обеспечивает стабильность и чистоту жидкостной линзы за счет снижения содержания растворенного газа и контроля качества UPW
Постоянно поддерживает заданную температуру и уровень давления на выходе UPW потока
Обеспечивает безопасность процесса и машины с помощью сигнализаторов безопасности и датчиков утечки
Обеспечивает мониторинг в режиме реального времени критических параметров инструмента и центральной системы мониторинга клиентов.
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.
О DirectIndustry
DirectIndustry — это торговая площадка, которая предлагает участникам B2B полный спектр услуг, от поиска продукции до покупки. DirectIndustry является частью VirtualExpo Group.