Дегазационная установка LiquidLens™ LLD2

дегазационная установка
дегазационная установка
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Описание

LiquidLens™ LLD2 Система дегазации UPW UPW UPW дегазация для иммерсионных литографов Система LiquidLens LLD2 обеспечивает стабильность и чистоту жидкостной линзы за счет снижения содержания растворенного газа и контроля качества UPW Постоянно поддерживает заданную температуру и уровень давления на выходе UPW потока Обеспечивает безопасность процесса и машины с помощью сигнализаторов безопасности и датчиков утечки Обеспечивает мониторинг в режиме реального времени критических параметров инструмента и центральной системы мониторинга клиентов.

---

Каталоги

Для этого товара не доступен ни один каталог.

Посмотреть все каталоги Entegris
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.