Газовый фильтр Wafergard® II SF

для твердых частицмембранныйвысокой эффективности

« Газовые фильтры Wafergard® II SF мини XL встроенные Главная частичная фильтрация для ultrapure фильтрации системы газа Запатентованная мембрана нержавеющей стали обеспечить фильтрацию высокой эффективности Идеал для применений высокой температуры и скоростного напора Превосходная совместимость с большинств ultrapure газами процесса полупроводника Для пользы с инертными и реактивными газами Типичная польза до 60 SLPM Материалы: Патрон фильтра: Запатентованный фильтр мембраны нержавеющей стали Снабжение жилищем: Нержавеющая сталь Electropolished 316L Поверхностный интерьер финиша: Ра μin =5 Оценка утечки гелия: Квалифицированный 2' 10-10 atm-cc \ /sec. Испытанный 1' 10-9 atm-cc \ /sec. Идущая дальше по потоку чистота: Частицы: Меньше чем 0,03 частицы \ /liter (1 частица \ /ft3) больше чем 0,01 μm Volatiles: μm =0.003 Эксплуатационные режимы: Максимальное входное давление: бар 165 (2357 PSI) на 20°C Максимальный перепад давления препровождайте \ /reverse: бар 140 (PSID 2000) Максимальная рабочая температура: 460°C на 35 500 PSI) бара (\ /html»