Воздушный фильтр SilverSet™

с активированным углемдля использования в области химиискладчатый

« Фильтры SilverSet™ химические для снабжения жилищем E2600 Предварительная оптика блока развертки и сопротивляться защите Средства массовой информации активированного угля в фильтрах входа предотвращают преобразование PGMEA к укусной кислоте, которая может причинить фоторезист обрабатывая изменение и корозию материала Конфигурация фильтра Asymetric предотвращает преобразование HDMSO к TMS, которое причиняет загрязнение объектива блока развертки Гибридные фильтры содержа высок-активированный углерод плюс предварительные plymetric средства массовой информации извлекают полный диапасон загрязняющих елементов включая кислоты, основания и condensable органические вещества 2-летняя продолжительность жизни фильтра на эффективности удаления 99% для кислот, оснований и condensable органических веществ в типичных условиях залива фото чистой комнаты Плиссированный дизайн в твердой, глубокая рама фильтра оптимизирует зону активного компонента поверхностную для максимальных использования и эффективности Серийный план фильтра с interstack пробуя порты обеспечивает множественные уровни защиты и учитывает контроль за выполнением фильтра и предыдущее обнаружение прорыва Химическое проведение фильтрации утверженное обслуживаниями Entegris аналитическими, предусматривая обеспечение что все заявки представления фильтра подтвержены с поддерживать data. \ /html»