Устройство серии 12 - это миниатюрное устройство по прецизионному уменьшению давления для IGS/VCR®. Устройство серии 12 поставляется с обработкой поверхности 5 Ra или 10 Ra мкдюйм, связанной диафрагмой, в исполнении без пружин и резьб. Оно обеспечивает давление на входе 150 фунт/кв. дюйм изб. / 10,3 бар, давление на выходе от 250 мм рт. ст. - 15, 30, 60, 100 фунт/кв. дюйм изб. / 250 мм рт. ст. - 1.0, 2.1, 4.1, 6,9 бар с расходом до 120 ст. литров в мин. Идеально для использования со средствами OEM, газовыми секциями и газовыми шкафами низкого давления.
Технические характеристики
Материал
-Диафрагма: Hastelloy®
-Седло: PCTFE
-Шток клапана: Hastelloy®
-Остальные материалы: нерж. сталь 316L VAR
Пропускная способность
-Стандарт: Cv = 0,04
-Высокий расход: Cv = 0,08
Вес изделия
-VCR®, IGS: 0,60 фунта / 0,3 кг
-Исп. A: 1,08 фунта / 0,5 кг
Дополнительная информация
-По вопросам внесения заказных изменений или разработки всей системы обращайтесь к местному торговому представителю.
Особенности
-Выбор для современных газовых систем OEM
-Прецизионный контроль давления улучшает производительность MFC
-Превосходно функционирует в широком диапазоне условий
-Расход от 2 ст. куб. футов/мин. до 12 ст. литров/мин.
-Оптимальное статическое отклонение и воспроизводимость в микрокомпонентах
-Диафрагма металл-металл для герметизации корпуса и обеспечения высокой герметичности
-Обработка внутренней поверхности 10 Ra или 5 Ra мкдюйм
-Соответствует параметрам интерфейсов SEMI F19 и SEMI Modular