Система E2423 состоит из 2-осевого пьезоконтроллера модели E2400 с автоматической обратной связью и XYZ-гибочного столика серии MDE123 Elliot Gold™, оснащенного пьезоприводами, обеспечивающими 25 мкм пьезорегулировку и 2 мм ручную регулировку по каждой из трех осей.
- 3-осевой пьезоконтроллер для актуаторов 150 В (E1100)
- Работа с помощью программного обеспечения или ручного управления
- Превосходная процедура поиска и оптимизации
- Сохранение наборов параметров для каждого выравнивания
- Полный контроль над параметрами сканирования
- USB-интерфейс
- Драйверы LabVIEW™ в комплекте
- Четкий ЖК-дисплей
- Дисплей с/б измерителя мощности
- Сверхстабильная запатентованная* конструкция XYZ изгибного каскада
- Пьезорегуляторы XYZ
- Правосторонняя конфигурация (левосторонняя доступна под заказ)
- Ход пьезорегулировки 25 мкм
- Разрешение 10 нм
- 2 мм грубый ручной ход
- Ортогональные юстировочные канавки
- Грузоподъемность 4,5 кг
Полное описание технических характеристик приведено в листах на отдельные изделия.
E2400 DAli 4 Контроллер автоматической центровки с интерфейсом USB.
E1100 Пьезопривод
MDE123 Elliot Gold™ series XYZ flexure stage with Piezo (25um) drivers
Программное обеспечение DAli 4 (USB-носитель)
---