Шпиндель EZ-8212 оснащен мощным моментным двигателем (Tecnotion) и развивает скорость до 5 000 об/мин. При высоких скоростях необходимо охлаждать воздушный подшипник. Для этого в роторе предусмотрены четыре канала охлаждения, питание которых может осуществляться через внешний роторный штуцер. Вход охлаждающей жидкости расположен в задней части шпинделя, выход - в его носовой части; таким образом, выходящая охлаждающая вода может быть использована для охлаждения подложки. Двигатель охлаждается отдельным контуром охлаждения, оба порта расположены на задней части шпинделя. два канала для газообразных сред (вакуум или сжатый воздух) подведены к шпинделю через встроенный ротационный патрубок. Шпиндель был разработан для шлифования вафель. Лабиринтное уплотнение обеспечивает бесперебойную работу в нечистой среде. Благодаря погрешности радиального и осевого перемещения менее 200 нм шпиндель подходит для широкого спектра высокоточных процессов обработки. Шпиндель оснащен инкрементальной системой измерения углов (Heidenhain TTR ERM) с 512 линиями. Ограничений по монтажному положению нет.
Области применения: Обработка пластин, в испытательных системах, приложения с высокими требованиями к концентричности.
---