Линейная ось с линейным двигателем EZ-5504

сверхточнаякомпактнаярегулируемая

В фокусировочной оси EZ-5504 компания EIZENBERGER реализовала совершенно новую и инновационную концепцию оси. Внешние особенности - компактные размеры 99 x 99 x 80 мм (Д x Ш x В) и центральное сплошное отверстие около 35 мм для оптических компонентов. Воздушный подшипник без проскальзывания обеспечивает максимальную точность на всем диапазоне хода 18 мм и повторяемость в нанометровом диапазоне. Наряду с чрезвычайно низкой погрешностью позиционирования следует отметить низкую погрешность наклона оси. Ось фокусировки имеет постоянную магнитную компенсацию веса и рассчитана на полезную нагрузку 250 г. Компенсация веса регулируется для масс от 50 до 300 г. Ось фокусировки может перемещаться динамически с помощью двигателя со звуковой катушкой. В качестве измерительной системы используется измерительная головка Renishaw с разрешением 1 нм и интерфейсом BiSS-C. Области применения: Фокусировочная ось подходит для высокоточных применений в области литографии, экспонирования масок, сканирования или в целом для позиционирования оптики и датчиков. Благодаря компактным размерам и небольшой массе системы ось легко интегрируется во многие приложения. Воздушный подшипник и используемые материалы предопределяют применение этой оси в чистых помещениях.