Печь с защитным колпаком HICON

для термообработкидля отжигагазовая

Алюминиевая фольга для электронной промышленности должна отвечать самым высоким требованиям к качеству. Для производства высокоемкостной фольги используется алюминий только самой высокой чистоты. Чистота алюминия увеличивается в зависимости от рабочего напряжения. Для низковольтных применений достаточно марки AI3N8, а для высоковольтных требуется AI4N (AI 99,99 %). Для получения равномерного слоя Al2O3 на поверхности фольги в процессе отжига используется особо чистая технологическая атмосфера, что, в свою очередь, способствует туннельному травлению в последующих процессах. Материал обрабатывается при температуре отжига от 550 до 620 °C, при этом точка росы атмосферы должна быть ниже -30 °C. Для соблюдения этих жестких критериев отжиг должен проводиться в печи с ретортой, которая должна быть как газонепроницаемой, так и вакуумной. Для этих целей идеально подходит колокольный отжиг HICON. Колокольные отжигатели HICON отличаются следующими особенностями: Металлические поверхности, рассчитанные на средний вакуум Гибкие градиенты нагрева и охлаждения в вакууме или технологической атмосфере Газонепроницаемое и вакуумное рабочее пространство