Используя современные технологии нагревателей, Durex производит прецизионные литые вафельные плиты специально для полупроводниковой обработки 200 мм, 300 мм и 450 мм вафель. Встроенные нагреватели отлиты из чистого алюминия (99,7%) для обеспечения максимальной рабочей температуры 450°C (842°F) с минимальным риском загрязнения процесса. Процесс литья контролируется для устранения любых дефектов обрабатываемой поверхности или корпуса отливки, которые могут быть вызваны пористостью. Минерально изолированный нагревательный элемент распределяется по всей отливке для обеспечения равномерности температуры поверхности ±1% или выше рабочей температуры процесса. Доступное твердое анодированное покрытие обеспечивает износостойкий диэлектрический барьер на рабочей поверхности нагревателя формованной валиковой плиты.
---