этап 3 осей для вакуума
Когда один из клиентов DSM требовало изготовленной на заказ трехосной системы позиционирования, DSM leveraged сгибани-основанная конструкция своих приводов flextensional piezo для того чтобы создать независимые этапы x, y, и z. Приводя к x и y ставят каждое обеспечивают 200 микронов перемещения, и ось z имеет ход 500 микронов. Первоначально агрегат этапа был конструирован для совместимости вакуума и был предусмотрен с моделями benchtop усилителя VF DSM линейного piezo. Основная конструкция систем этапа масштабируема к более малым/более большим возможностям смещения.
Как follow-on deliverable к первоначально, незамкнутой сет системе XYZ выше, клиент DSM спросил возможность closed-loop для x и Y-osей. DSM включало емкостные зонды и использовало линейные усилители сервопривода SA-100 для того чтобы обеспечить отдельно стоящий servocontrol. 24 ввода аналога бита признавает сигнал цели положения, и цифровой I/O обеспечивает флаги для «в-ряда» и пусков сбора информации.
---