Пластина нанопозиционирования Z Model ZSA-1000C

вертикальнаяпьезоэлектрическая1 ось

Пьезоэлектрический каскад DSM ZSA-1000C с пьезоэлектрическим позиционированием обеспечивает движение с изгибом в вертикальном направлении в диапазоне перемещения 1 мм для сканирования, метрологии и процессов контроля. Стабильная и жесткая кинематическая конструкция способствует параллелизму выходного движения при минимальном наклоне и наклоне вала, а также динамическому отклику, что обеспечивает превосходную стабильность положения и контроль. Каскад может быть соединен с DSM SA-500 для управления замкнутым контуром с емкостным зондом высокого разрешения для обеспечения стабильности положения 20 нм и очень стабильных профилей скорости в определенных областях сканирования. - Путешествие с открытой петлей: 1050 мкм ± 10% - Путешествие с замкнутой петлей: 1000 микрон ± 10% - Разрешение замкнутого контура: 20 нанометров типичное разрешение Жесткость: 0,4 Н/мкм ± 10% - Линейность: 0,12% типичная для данного случая - Маршрут (™х, ™тиу): <100 типичных микрорадиан - Разгруженный резонансный фрек: 200 Гц ± 10% - Резонансный Freq @100гр: 150 Гц ± 10% - Грузоподъемность: 75/150 Н Максимальное усилие толкания/тягивания - Грузоподъемность: 75 Нм Максимальная мощность - Боковая сила: 10 Н Максимальное значение - Электрическая емкость: 30 микро-фарадов ± 10% - Ширина x Длина: 62,5 x 125 мм - Высота: 25,1 ± 0,1 мм - Мессу: 1 килограмм ± 10% - Материал: Нержавеющая сталь - Длина кабеля: 1,5 метра Длина кабеля: 1,5 метра Конструкция ZSA-1000C легко приспособлена для использования различных датчиков перемещения, включая емкостные датчики (в стандартной комплектации), что позволяет осуществлять истинное управление движением с помощью нанопозиционирования. Сервоусилитель SA-500 компании DSM обеспечивает автономное управление с замкнутым контуром с последовательной связью, аналоговой или цифровой обратной связью и цифровыми входами/выходами для дополнительных возможностей управления и связи.