Испытательная платформа для полупроводника Hatina 4S

Обзор
Hatina 4S от Cosmic — компактная модульная ATE-платформа, разработанная для wafer-sort (WS) и финальных испытаний MEMS-устройств и магнитных датчиков. Платформа поддерживает модули возбуждения для датчиков влажности, давления и температуры, микрофонов, магнитометров и twist-tilt блоки для акселерометров и гироскопов. Масштабируемая архитектура обеспечивает высокий параллелизм до 140 сайтов в режиме ping-pong и небольшой занимаемый объём для лёгкой интеграции в хендлеры и линии автоматизации.

Ключевые преимущества

• Компактное модульное решение для серийных испытаний MEMS и магнитных датчиков
• V/I каналы с большим числом контактов и динамические источники питания (DPS)
• Цифровые каналы высокой плотности и опции PPMU
• Интегрированный мультиплексор для повторного использования каналов и гибкости
• Низкая стоимость за сайт благодаря высокому уровню параллелизма
• Упрощённая интеграция с автоматизацией и хендлерами

Доступные варианты

• Hatina 4S Magnetic — система возбуждения с Magneto Board и генерацией высокого магнитного поля (запатентованная безкатушечная конструкция)
• Hatina 4S MEMS — конфигурация, оптимизированная под MEMS-устройства (акселерометры, гироскопы, давление, температура, влажность, газовые датчики)
• Hatina 4S Microphone — New Era микрофонная система с аудиомодулями и AWG на сайт для тестирования MEMS-микрофонов

Краткое описание продукта
Hatina 4S ориентирована на массовые параллельные тесты MEMS и магнитных датчиков. Технические особенности: запатентованный безкатушечный генератор магнитного поля (до 400 Gauss) с 3D-поворотом, тестирование микрофонов с SNR до 75 dB и SPL до 140 dB, уровень шума менее 20 dB и точность амплитуды лучше 0.1 dB, поддержка климатических камер от −40 °C до +180 °C, а также модули для акселерометров/гироскопов, обеспечивающие многосайтовое параллельное тестирование. Платформа ориентирована на компактный форм-фактор, гибкие конфигурации и снижение стоимости тестирования за счёт большого числа сайтов.

Технические характеристики

• Габариты (D×W×H): 330 mm × 360 mm × 538 mm
• Макс. параллелизм: масштабируется до 140 сайтов (режим ping-pong)
• Магнитный вариант: запатентованный безкатушечный генератор магнитного поля до 400 Gauss с 3D-поворотом
• Параметры микрофона: до 75 dB SNR; 140 dB SPL; уровень шума < 20 dB; точность амплитуды < 0.1 dB
• Поддержка климатических камер: рабочий диапазон −40 °C до +180 °C
• Analog / Power (Hatina 4S): 8 DCS @ 1 A источников с мультиплексором на 256 позиций
• Analog / Power (Hatina 4S Magnetic): до 40 DCS_MP; диапазоны напряжения ±1 V, ±3 V, ±5 V, ±10 V; -10 V/+30 V; -10 V/+55 V; диапазоны тока: 20 µA, 200 µA, 2 mA, 20 mA, 4 A
• Цифровые каналы & PPMU (Hatina 4S): 48 цифровых каналов & PPMU_60mA источников с мультиплексором на 256 позиций + 20 цифровых каналов без мультиплексора – 16 PPMU без мультиплексора
• Цифровые каналы & PPMU (Hatina 4S MEMS): до 320 цифровых каналов; до 192 PPMU
• New Era board (Microphone): до 24 модулей — 1 модуль = 20 цифровых каналов + аналогическая часть (16 PPMU)
• Microphone64 board (Microphone variant): до 8 аудиомодулей для тестирования цифровых & аналоговых MEMS-микрофонов + AWG на сайт
• Rate table: управление доступно (MEMS вариант)
• JIG / интерфейс: socket board, Magneto PCB и reference board (магнитный вариант)
• Состав системы: HATINA tester, loadboard с набором кабелей, интерфейсы/jig (socket board, magneto board, reference board)