Corning® ULE® Glass (Ultra-Low Expansion Glass) 7972 - это титано-силикатное стекло с характеристиками, близкими к нулевому расширению, что сделало его материалом выбора в таких уникальных областях применения, как эталонные блоки станков, решетки, эталонные блоки, эталонные зеркала интерферометров и зеркала телескопов.
ULE представляет собой однофазную переохлажденную жидкость с CTE, близким к 0 ppb/K.
EUV ULE 7973 был разработан с учетом потребностей в масках и оптических подложках для EUVL-приложений.
Переход литографии с 193 нм на 13,4 нм потребовал существенного изменения конструкции шаговой оптики с преломляющей на отражающую. В отражательной оптике материалы подложки должны быть чисто пассивными. Падающий свет должен отражаться от многослойных покрытий оптики и фотомаски без внесения механических или оптических искажений, вызванных подложкой.
Чтобы свести к минимуму искажения, возникающие при незначительных изменениях температуры, и соответствовать жестким требованиям EUVL, подложки должны иметь практически нулевой коэффициент теплового расширения (CTE) и низкие отклонения CTE от пика к валу (P-V). Требования к экстремально низкому CTE выражаются в частях на миллиард на градус кельвина (ppb/K).
Жесткие требования к CTE заставляют совершенствовать и метрологию, и компания Corning продолжает совершенствовать методы метрологии, чтобы соответствовать требованиям EUVL.
Возможна дискретная настройка температуры перехода через ноль.
Стекло с низким коэффициентом расширения TSGTM 7972 является третьим представителем семейства стекол с низким коэффициентом расширения на основе силиката титана компании Corning. В TSG смягчены требования к абсолютному коэффициенту теплового расширения (CTE) для тех применений, где не требуется материал с практически нулевым расширением.
---