Линза из стекла ULE®
из силиконаУФдля оптики

линза из стекла
линза из стекла
линза из стекла
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Материал
из стекла, из силикона
Оптические характеристики
УФ
Применение
для оптики

Описание

Corning® ULE® Glass (Ultra-Low Expansion Glass) 7972 - это титано-силикатное стекло с характеристиками, близкими к нулевому расширению, что сделало его материалом выбора в таких уникальных областях применения, как эталонные блоки станков, решетки, эталонные блоки, эталонные зеркала интерферометров и зеркала телескопов. ULE представляет собой однофазную переохлажденную жидкость с CTE, близким к 0 ppb/K. EUV ULE 7973 был разработан с учетом потребностей в масках и оптических подложках для EUVL-приложений. Переход литографии с 193 нм на 13,4 нм потребовал существенного изменения конструкции шаговой оптики с преломляющей на отражающую. В отражательной оптике материалы подложки должны быть чисто пассивными. Падающий свет должен отражаться от многослойных покрытий оптики и фотомаски без внесения механических или оптических искажений, вызванных подложкой. Чтобы свести к минимуму искажения, возникающие при незначительных изменениях температуры, и соответствовать жестким требованиям EUVL, подложки должны иметь практически нулевой коэффициент теплового расширения (CTE) и низкие отклонения CTE от пика к валу (P-V). Требования к экстремально низкому CTE выражаются в частях на миллиард на градус кельвина (ppb/K). Жесткие требования к CTE заставляют совершенствовать и метрологию, и компания Corning продолжает совершенствовать методы метрологии, чтобы соответствовать требованиям EUVL. Возможна дискретная настройка температуры перехода через ноль. Стекло с низким коэффициентом расширения TSGTM 7972 является третьим представителем семейства стекол с низким коэффициентом расширения на основе силиката титана компании Corning. В TSG смягчены требования к абсолютному коэффициенту теплового расширения (CTE) для тех применений, где не требуется материал с практически нулевым расширением.

---

Каталоги

Для этого товара не доступен ни один каталог.

Посмотреть все каталоги CORNING

Салоны

Вы сможете встретиться с этим поставщиком на выставке(-ах)

ACHEMA 2024
ACHEMA 2024

10-14 июн. 2024 Frankfurt am Main (Германия) Зал 9.0 - Стенд E64

  • Дополнительная информация
    * Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.