ПРИМЕНЕНИЯ:
Процессы очистки полупроводниковых пластин (мокрый стенд)
Нагрев растворителей для удаления фоторезиста
Нагрев DI воды для промывки пластин
Нагрев воздуха и азота для сушки пластин
Нагрев кислот, IPA, Piranha, NMP и т.д.
Для использования в однопроходных или рециркуляционных системах
ОСОБЕННОСТИ И ПРЕИМУЩЕСТВА:
Путь жидкости не имеет контакта с нагревательными элементами
Среда изолирована в проточной трубке из PFA (Teflon®) (нагрев высокой чистоты)
Позволяет безопасно нагревать опасные жидкости и газы
Трубка Flow-Tube безопасна для использования со многими едкими растворителями
Проточная трубка может быть заменена в полевых условиях (не требуется вызов сервисной службы)
Совместимость со стандартными системами управления (ПИД, ПЛК, многоконтурные и т.д.)
Корпус имеет тефлоновое покрытие для максимальной чистоты
Самосливные трубки и долговечные нагревательные элементы
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:
Мощность:
1.5 кВт общая до 4,5 кВт общая
Диапазон напряжения: 120 - 415 V
Максимальный ток в сети: 30 A на цепь
Трубки:
.375" наружный диаметр (3/8") (9,52 мм)
.031" стенка (.80 мм)
Общая длина технологической трубки: 190" (4826 мм)
PFA (перфтороалкокси) / Teflon® (стандарт)
Высокочистый PFA (дополнительная опция)
Максимальное давление: 70 фунтов на квадратный дюйм (4,82 бар)
Корпус:
Алюминий с черным защитным покрытием Teflon®
Корпуса:
NEMA 7 (взрывозащищенные)
Максимальные рабочие температуры:
392°F (200°C)
Датчики:
Термопары типа K или J Стандартные (кол-во 3)
1 для управления процессом
1 для защиты от высоких пределов
1 для температурной защиты трубки
Доступные аксессуары:
Изолирующие оболочки
Прямые соединительные фитинги
---