Feturces
* - Микроглубинный 3D сканер
* - Высокоскоростные/бесконтактные метрологические измерения
* - Анализ поверхности
* - Непрозрачные/прозрачные
Применения,
* Сенсорные панели / солнечные панели / пластины
* - Микроэлектромеханические (MEMS)
* - Печатная плата для схем высокой плотности
* - пакет ИС
* - Разнообразие функций измерения: контур микроструктуры, размер, толщина слоя, толщина пленки дефекта, дифферент освещенности, угол, шероховатость, плоскостность
-Как это работает
Белый свет имеет короткое затемнение -
Лучшие интерференционные полосы образуются только в положении фокуса, интерференция, вызванная расфокусированным и рассеянным светом, исключается, и положение лучшей интерференционной полосы регистрируется с помощью "высокоскоростной CCD-камеры поверхностного типа". Точечное сканирование не требуется, а "вертикальный сканер" используется для перемещения объектива для записи положения по высоте., можно воспроизвести трехмерную топографию поверхности объекта измерения.
---