COBRA BA 0100 C представляет собой сухой винтовой вакуумный насос высокой надежности для создания вакуума в загрузочных шлюзах и других подобных ответственных процессах, которые используются при производстве фотоэлементов, плоских экранов и полупроводников. Благодаря эффективному воздушному охлаждению и высочайшей для своего класса скорости работы этот вакуумный насос идеально подходит для любых целей, где требуется эффективное, быстрое и надежное создание вакуума. Для вакуумных насосов COBRA применяется безмасляная и бесконтактная технология, что дает возможность удалять среду с тяжелыми частицами.
Насос COBRA BA 0100 C оснащается высокоэффективным двигателем, который может переключаться в режим ожидания, тем самым обеспечивая оптимальное энергосбережение.
За счет компактных размеров насосу COBRA BA 0100 C требуется очень мало места, а благодаря чрезвычайно низкому расходу энергии производственные затраты всегда будут минимальными.
Области применения
Химическое осаждение из паровой фазы плазмы высокой плотности (HDP CVD)
Быстрая термическая обработка
Химическое осаждение из паровой фазы при субатмосферном давлении (SACVD)
Химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD)
Химическое осаждение из паровой фазы под воздействием плазмы (PECVD)
Химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении (LPCVD)
Осаждение атомных слоев (ALD)
Загрузочные шлюзы
Серия COBRA — это новое поколение сухих вакуумных насосов для процессов с высокими требованиями.
Серия COBRA — это новое поколение сухих вакуумных насосов для процессов с высокими требованиями.
Хотите узнать больше?
Свяжитесь с нами (Busch Россия):