Антибликовый вакуумный испаритель DLC 600

Описание
LEYBOLD OPTICS DLC 600 — это прецизионная вакуумная напылительная установка, использующая плазменно-усиленное химическое осаждение из газовой фазы (PECVD) для формирования алмазоподобных углеродных (DLC) покрытий на оптических и тепловизионных компонентах. Установка предназначена для получения твёрдых, равномерных и экологически стойких DLC-слоёв, оптимизированных для IR антирефлексных и защитных покрытий на подложках Ge и Si.

Ключевые преимущества

• Широкая совместимость подложек: гравитационный способ крепления позволяет обрабатывать различные формы и геометрии до 300 мм в диаметре и примерно 30–40 мм по высоте.
• Оптимизация для IR: параметры процесса и материалы подобраны под подложки Ge и Si для повышения пропускания в ИК-диапазоне и стабильной антирефлексной характеристики.
• Долговечные защитные DLC-слои: система наносит чрезвычайно твёрдые, равномерные DLC-плёнки с высокой устойчивостью к внешним воздействиям для защиты открытых оптических поверхностей.

Отличительные особенности
Камера процесса и распределение газа — эталонная равномерность: конструкция газового душа DLC 600 обеспечивает очень равномерное распределение рабочих газов по камере, что даёт стабильный рост плёнки и точный контроль толщины по всей площади покрытия — критично для ИК- и низкоосвещённых применений, таких как устройства ночного видения и датчики расстояния.

Оптический мониторинг in-situ — воспроизводимость слоёв: интегрированная система OMS 5100 контролирует рост плёнки в режиме реального времени, обеспечивая заданные допуски по толщине и высокую повторяемость, чтобы проектные многослойные системы соответствовали готовому изделию.

Технические характеристики

• Технология нанесения: plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) для DLC-покрытий.
• Тип покрытия: diamond-like carbon (DLC) — твёрдый, равномерный, устойчивый к среде.
• Совместимые подложки: германий (Ge) и кремний (Si), оптимизация для IR-антибликовых покрытий.
• Макс. диаметр подложки: до 300 мм.
• Типичная высота подложки: ок. 30–40 мм.
• Крепление подложки: гравитационное для работы с различной геометрией.
• Управление процессом: OMS 5100 in-situ оптический мониторинг для контроля толщины и воспроизводимости.
• Распределение газа: специализированный газовый душ для исключительной равномерности.
• Код продукта: CUBE-00010-019.

Типичные области применения

• IR антирефлексные покрытия для прецизионной оптики.
• DLC-защитные слои для устройств ночного видения и тепловизионных систем.
• Датчики и компоненты, работающие в ИК-диапазоне, требующие долговечных и воспроизводимых покрытий.