Измеритель емкости CMC

Компактные, проверенные манометры без подогрева для экономически эффективного измерения вакуума. Емкостные манометры серии CMC от Brooks Instrument обеспечивают надежное и точное измерение вакуума в широком диапазоне рабочих температур, являясь экономичной альтернативой более крупным манометрам премиум-класса без подогрева. Компактная конструкция и проверенные рабочие характеристики делают их идеальной модернизацией для существующих инструментов, нуждающихся в манометре малого форм-фактора. Надежная и повторяемая работа обеспечивается даже в самых агрессивных процессах благодаря цельносварной конструкции и смачиваемым поверхностям Iconel®. Сочетание прецизионных компонентов и широкого рабочего диапазона с температурной компенсацией позволяет Brooks обеспечивать лучшие в своем классе температурные коэффициенты нуля и размаха для оптимальной стабильности измерений Особенности - Доступны для диапазонов процессов от 10 Торр до 1000 Торр - Доступны два уровня точности: 0.25% или 0,50% от показаний (опционально) - Исключительная производительность в широком диапазоне рабочих температур - На 40% меньше традиционных емкостных манометров без подогрева - Цельносварная конструкция и смачиваемые поверхности из Inconel® Преимущества - Дополнительная высокоточная калибровка соответствует точности более дорогих манометров премиум-класса без подогрева - Лучшие в своем классе температурные коэффициенты нуля и диапазона - Компактная конструкция помогает разместить прибор в ограниченном пространстве станка - Оптимальная повторяемость измерений по сравнению с другими конструкциями, которые подвержены внутренним напряжениям, вызывающим ошибки Области применения Производство полупроводников Процессы тонкопленочного осаждения - стекло, полотно и оптические покрытия Сублимационная сушка скоропортящихся материалов Высокотехнологичные покрытия для медицинских инструментов (хирургические инструменты, стоматологические сверла и т.д.)