Пульверизатор VDM300

Передовая технология испарения позволяет получать более чистый и эффективный пар. Многие промышленные и полупроводниковые процессы требуют преобразования жидкостей, включая воду и другие жидкие прекурсоры, в высококонтролируемые и чистые пары. Испарение - это фазовый переход из жидкой фазы в газовую. Таким образом, испаритель - это любая система, которая переводит жидкий материал в газообразное состояние. Хотя испарение осуществляется различными способами, все современные испарители, например водяные, имеют несколько общих характеристик:: Повышение температуры и/или снижение давления жидкости Закрытые системы для улавливания и контроля потока пара Использование системы обратной связи и контура управления для регулирования скорости испарения ОСНОВНЫЕ ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ Испарение/охлаждение воды Химическое осаждение паров Нанесение тонких пленок для улучшения тепловых, оптических или твердостных характеристик Испарение мономеров для получения вакуумных полимерных пленок Получение калибровочных паров Испарение жидких углеводородов