Пульверизатор VDM300

Высочайшая точность потока для подачи деионизированного водяного пара сверхвысокой чистоты (DI). Модуль подачи пара (VDM) компании Brooks Instrument - это высокопроизводительный автономный модуль для высокоточной подачи деионизированного водяного пара сверхвысокой чистоты (DI). Он имеет энергоэффективную конструкцию, позволяющую генерировать пар сверхвысокой чистоты при низкой температуре. В нем используется проверенная технология подачи пара и сочетается с передовым цифровым управлением и встроенными диагностическими функциями в небольшом удобном корпусе. Разработанный для передовых процессов пассивации полос и после травления металла, VDM обеспечивает повышенную точность, более высокую скорость потока, более широкий диапазон регулирования и более низкое энергопотребление по сравнению с системами испарения со вспышкой. Основанная на проверенных методах измерения теплового массового расхода, система VDM производит пар в неперегретом парообразном состоянии, снижая агрессивное воздействие деионизированной воды, что повышает надежность и чистоту работы. VDM предлагает удобные для пользователя функции регистрации данных и диагностики через независимый сервисный порт и интуитивно понятный графический интерфейс пользователя. Характеристики - Диапазон расхода: 3 сл/мин (пар DIW) - Прямое измерение водяного пара с превосходной точностью расхода - Подключается непосредственно к источнику деионизированной воды в доме - Работает при более низких температурах (в неперегретом состоянии) - Оптимизированная конструкция для промывки и слива - Цифровые коммуникации EtherCAT - Графический пользовательский интерфейс Brooks Expert Support Tool (BEST) Преимущества - Используется проверенный, надежный метод измерения и управления тепловым массовым расходом - Высокая толерантность к изменению давления подачи воды fab DI Улучшенная коррозионная стойкость в контуре смачивания Обеспечивает более чистую работу