1.Achieve распределяя, вискоза, липкий фильм, размещение, вафля липкая, перевернутая упаковка, Gaas, слипчивое управление давления, высокая точность.
платформа переброски по воздуху ультра-точности 2.Use, основная система x, Y-osь использовать кодировщик высоко-разрешения линейный с нул давлениями, совершенно внеконтактной бесфрикционной системой поплавка воздуха, масштабом кодировщика может достигнуть к точности 0.02um, может достигнуть высокоскоростного, точность, на уровне подводн микрон располагать
платформа спорт гранита пользы дизайна платформы 3.The интегрированная высокоскоростная высокой стабильности, так как T8W в обеспечении термической стабильности и механической стабильности и достигнуть высокоскоростного стартового временени и +-1,5 um и даже лучше точности заплаты в то же время, для того чтобы соотвествовать прикладным требованиям высокой точности.
---