Компания Sevenstar выпустила новое поколение МФУ CS300 для рынка полупроводников. Основанный на технологической платформе CS, CS300 является последним поколением, разработанным специально для крупногабаритного оборудования ИС. CS300 MFC имеет алгоритм компенсации давления на основе DF, улучшенную обработку поверхности и спецификацию, соответствующую стандарту SEMI, также доступны 1,125" IGS W -seal и C-seal интерфейс.
характеристики
1. Высокая точность и быстрый отклик
точность МФУ CS300 была повышена до ±0,8% от S.P., а время отклика самых современных моделей составляет менее 0,5 с.
2. Низкий дрейф нуля и температурный коэффициент
изобретение новой сенсорной технологии позволяет МФЦ CS230 сохранять стабильность и выдерживать температурные колебания. Без усилителя автообнуления ожидаемый дрейф нуля составляет менее 0,6%F.S./год, а температурный коэффициент - менее 0,02%F.S./℃ (нуль),0,05%F.S./℃ (диапазон).
3.Модели с металлическим уплотнением и высокой степенью чистоты
в CS300 применяется специальная обработка металлической поверхности. используется нержавеющая сталь 316 VV, шероховатость которой может быть менее 5 RA, что соответствует требованиям полустандартов.
4. Совместимые интерфейсы
мФЦ CS300 совместим со следующими интерфейсами, которые могут быть выбраны заказчиком: двухстороннее питание ±8В-±16В и одностороннее питание +14В-+28В; вход и выход цифровых или аналоговых сигналов; механические размеры по стандарту SEMI; модуль связи RS-485 или DeviceNetTM.
5. Различные функции
в стандартную комплектацию каждой модели входит мощное программное обеспечение заказчика, а дополнительные функции, такие как мультигаз, мультидиапазон, автообнуление, аварийные сигналы, плавный пуск и задержка, доступны по выбору заказчика.
---