Нагревательная пластина из керамики

сверхточная

Керамические горячие плиты из нитрида кремния могут быть изготовлены с внешним диаметром 400 мм. В пределах этого диаметра возможны любые прямоугольные формы, нестандартные формы и отверстия. Типичная высота пластин составляет 5 мм, а со встроенным каналом охлаждения - около 15 мм. Особые свойства и малая масса керамического материала обеспечивают быструю скорость нагрева, равномерное распределение температуры и исключительную точность управления. По сравнению с металлом поверхность керамики остается ровной благодаря низкому тепловому расширению даже при работе с быстрыми изменениями температуры. Высокая прочность горячепрессованного нитрида кремния гарантирует высокую устойчивость к нагрузкам (например, при высоких нагрузках давления) и отличную износостойкость. Горячие пластины очень подходят для сложных процессов в системах обработки полупроводников. Преимущества Ваши преимущества: Вы получаете превосходную равномерность температуры и плоскостность горячей плиты Встроенное активное охлаждение и вакуумный патрон по запросу Функция нагрева и охлаждения может быть адаптирована к вашим технологическим требованиям Области применения системы обработки полупроводников (например, склеиватели матриц) системы нанесения покрытий (CVD, PVD) паяльные системы вакуумная технология процессы отжига / травления литография