Нагреватели чипов из нитрида кремния обычно имеют прямоугольную форму. Возможно изготовление различных размеров и партий вплоть до диаметра нашей матрицы 400 мм. Особые свойства и малая масса керамики обеспечивают высокую скорость нагрева, равномерное распределение температуры и высокую точность регулирования. Небольшие нагревательные элементы могут управляться с очень высокой поверхностной мощностью при коротком времени цикла. По сравнению с металлом поверхность керамики остается очень гладкой благодаря низкому тепловому расширению даже при работе с изменением температуры. Высокая прочность горячепрессованного нитрида кремния гарантирует высокую стрессоустойчивость (например, при высоких нагрузках) и отличную износостойкость. Мы предлагаем миниатюрные нагреватели для работы на открытом воздухе при температурах до 500 °C и нагреватели с холодной зоной при температурах до 1 000 °C.
Индивидуальное проектирование
Наши собственные разработки делают любые изменения размеров, конфигурации или характеристик простыми и удобными. В конструкцию могут быть включены отверстия под монтажные кронштейны и отверстия для датчиков температуры или всасывающих труб. Также могут быть добавлены вырезанные лазером вакуумные канавки. Наши нагреватели микросхем поставляются уже отшлифованными, однако для удовлетворения конкретных требований они могут быть дополнительно отшлифованы до плоскостности < 10 мкм. Возможны также различные формы, формируемые по контуру нагреваемого элемента. Они могут быть выполнены в виде точки (точечные нагреватели) или в виде выступающей плоской части. Таким образом, возможны нагретые участки размером < 1 мм2. Миниатюрные нагреватели могут быть переоборудованы для работы от низкого напряжения
---