Мы предлагаем широкий спектр чрезвычайно производительных и надежных систем температурного контроля для полупроводниковой промышленности. Модульная концепция обеспечивает удобную и экономичную модернизацию системы, высочайшую безопасность инвестиций и простоту настройки.
Технология Core
Универсальная конструкция патрона - один патрон для систем с воздушным и жидкостным охлаждением
Гибридная конструкция патрона - работа с охлаждающим устройством и без него
Высокотемпературные системы с воздушным охлаждением
Гибридный патрон может использоваться для воздушного и жидкостного охлаждения
В таблице ниже представлен общий обзор технических характеристик. Производительность патрона может варьироваться в зависимости от типа датчика и области применения.
Advanced Temperature Test Systems - это лучшие доступные компоненты для наших изделий и самые передовые технологии производства. Наши изделия отличаются исключительной термической и механической стабильностью и точностью.
Технология AddOn
Модульные стеки AddOn для различных применений
eWLB, HV/HC, LN, Plain, Caro и т.д..
Низкое термическое сопротивление (LTR)
Технология низкого термического сопротивления (LTR)
Технология MultiSense
Приложения с высокой точностью
Приложения высокой мощности
Высокая точность LTR
Технология низкого термического сопротивления
MultiSense с несколькими датчиками температуры
Разработана для устройств с низким энергопотреблением и датчиков
Наилучшая точность и равномерность температуры
LTR Высокая мощность
Технология низкого теплового сопротивления
Для устройств с высокой мощностью и высоким параллелизмом
Высокая рассеиваемая мощность при широком диапазоне температур
Интеллектуальное управление сухим воздухом
Активное управление продувкой CDA для снижения расхода сухого воздуха
Усовершенствованный контроль сухого воздуха для очистки с помощью двух отдельных сред
Защита связующей прокладки
Адаптивный контроль точки росы
Тонкие/деформированные подложки
Запатентованная функция Бернулли для очень тонких подложек и субстратов
---