Новые массовые расходомеры и контроллеры массового расхода компании Angst+Pfister Sensors and Power основаны на сенсорных элементах MEMS последнего поколения. Помимо высокой точности и повторяемости, сенсорный чип пассивирован нитридом кремния и покрыт наноматериалами, что обеспечивает превосходную стойкость к воздействию среды. Датчики расхода и контроллеры выпускаются в различных вариантах, начиная от OEM-варианта с открытой электроникой и монтажным блоком для сборки коллектора и заканчивая готовым контроллером массового расхода, включающим корпус и фитинги Swagelok. Электронный интерфейс представляет собой простой аналоговый выход, а также Modbus RS232/RS485 или I2C. По запросу возможны варианты с полностью индивидуальным дизайном.
Диапазон измерения [SCCM]
0...0,1...20 SLPM или 0...±0,1...±20 SLPM
Выходной сигнал
Линейный, 0,5...4,5 В постоянного тока, Rs485 Modbus, I2C
Точность [± % FS] макс.
±1 отн. ед. или ±0,2 ф.с. в зависимости от того, что больше
Напряжение питания [В пост. тока]
8...24
Диапазон влажности
0...95% относительной влажности, без конденсации
Поставщик
Angst+Pfister Sensors and Power
---