Используя технологию кварцевого кристалла для обеспечения скорости, точности и стабильности калибровки, анализатор влажности 5910 предназначен для анализа газов сверхвысокой чистоты (UHP) в системах непрерывного мониторинга и аналитических тележках.
Обеспечивая исключительную стабильность базовой линии и чувствительность к изменениям концентрации влаги на доли миллиарда на объем (ppbv), он обеспечивает одну из самых высоких скоростей отклика.
Прибор 5910 чувствителен к изменениям концентрации влаги менее чем на 500 частей на триллион по объему (pptv), что обеспечивает точность более ±100 pptv, или ±10% от показаний.
Разработанный для непрерывного мониторинга UHP газов или установки в аналитические тележки, 5910 идеально подходит для производства ЖК/OLED дисплеев и полупроводниковой промышленности.
СКОРОСТЬ РЕАКЦИИ
Благодаря тщательно продуманной конструкции и тепловой трассировке, 5910 достигает непревзойденной скорости реакции на изменение уровня влажности в ppbv в течение нескольких минут, а не часов. Обычно он достигает 80% от ступенчатого изменения на 25 ppbv в любом направлении менее чем за десять минут.
ПРОСТОТА В ИСПОЛЬЗОВАНИИ
На датчик 5910 не влияет фоновый газ; даже потоки водорода и кислорода легко контролировать, поскольку датчики QCM не подвержены ошибкам рекомбинации. Переключение газов осуществляется с помощью меню программного обеспечения. Нет необходимости настраивать регуляторы расхода или давления.
ВНУТРЕННЯЯ ПРОВЕРКА
Прибор 5910 способен быстро и точно проверить нулевую базовую линию. Внутренний осушитель создает нулевой газ из газа пробы, тем самым позволяя проверить базовую линию анализатора.
---