Настольный источник электропитания Trek series
DCрегулируемыйс защитой от сверхтоков

Настольный источник электропитания - Trek series - ADVANCED ENERGY - DC / регулируемый / с защитой от сверхтоков
Настольный источник электропитания - Trek series - ADVANCED ENERGY - DC / регулируемый / с защитой от сверхтоков
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению

Характеристики

Крепление / Формат
настольный
Тип
DC
Выход
регулируемый
Защита
с защитой от сверхтоков
Другие характеристики
программируемый, внешний, двухполюсный
Входное напряжение

МИН.: -72 V

МАКС.: 2 000 V

Выходное напряжение

МИН.: -1 000 000 V

МАКС.: 1 000 000 V

Описание

Обзор Блоки питания Trek для e‑chuck (electrostatic chuck) от Advanced Energy обеспечивают точное управление напряжением зажима, напряжением смещения и DC‑смещением, а также настраиваемые пороги для over‑current, wafer‑present и wafer‑clamped. Пользовательские последовательности clamp/de‑clamp и программируемые формы волн оптимизируют работу зажима, уменьшают прилипание и «попинг» пластин, повышая пропускную способность и выход годных при производстве полупроводников.

Статус продукта Active

Ключевые характеристики
  • Контролируемые пороги: over‑current, wafer‑present, wafer‑clamped
  • Регулируемые напряжения: зажимное напряжение и напряжение смещения
  • Управление смещением: внутренний или внешний DC‑bias‑контроль
  • Настраиваемые последовательности: пользовательские clamp/de‑clamp и программируемые формы волн
  • Спроектировано для предотвращения прилипаний и popping пластин
  • Повышает пропускную способность, снижает повреждения пластин и увеличивает выход годных

Техническая документация (избранное)
  • Trek 645 Технический лист — Технический лист — PDF — 111 KB — 6 февраля 2024
  • Trek 645‑HT Технический лист — Технический лист — PDF — 163 KB — 11 декабря 2025
  • Trek 646 Технический лист — Технический лист — PDF — 116 KB — 18 февраля 2024
  • Electrostatic Semiconductor Wafer Clamping/Chucking System (ESC) Application Note — Применяемая заметка — PDF — 607 KB — 15 июня 2023

Области применения Для процессов производства полупроводников, требующих надёжного управления питанием electrostatic chucks: осаждение, травление, внедрение и электронно‑лучевая инспекция.

Технические характеристики
  • Параметры управления: over‑current, wafer‑present, пороги wafer‑clamped
  • Управление напряжением: регулируемые зажимное и смещающее напряжения
  • Управление смещением: внутренний или внешний контроль DC‑bias
  • Управление последовательностью: настраиваемые clamp/de‑clamp и программируемые формы волн
  • Основные преимущества: снижает повреждения пластин, предотвращает прилипание и popping, улучшает выход годных и пропускную способность
  • Указанные модели: Trek 645, Trek 645‑HT, Trek 646

Каталоги

Для этого товара не доступен ни один каталог.

Посмотреть все каталоги ADVANCED ENERGY
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.