Настольный источник электропитания Trek series

DCрегулируемыйс защитой от сверхтоков

Обзор Блоки питания Trek для e‑chuck (electrostatic chuck) от Advanced Energy обеспечивают точное управление напряжением зажима, напряжением смещения и DC‑смещением, а также настраиваемые пороги для over‑current, wafer‑present и wafer‑clamped. Пользовательские последовательности clamp/de‑clamp и программируемые формы волн оптимизируют работу зажима, уменьшают прилипание и «попинг» пластин, повышая пропускную способность и выход годных при производстве полупроводников.

Статус продукта Active

Ключевые характеристики

• Контролируемые пороги: over‑current, wafer‑present, wafer‑clamped
• Регулируемые напряжения: зажимное напряжение и напряжение смещения
• Управление смещением: внутренний или внешний DC‑bias‑контроль
• Настраиваемые последовательности: пользовательские clamp/de‑clamp и программируемые формы волн
• Спроектировано для предотвращения прилипаний и popping пластин
• Повышает пропускную способность, снижает повреждения пластин и увеличивает выход годных

Техническая документация (избранное)

• Trek 645 Технический лист — Технический лист — PDF — 111 KB — 6 февраля 2024
• Trek 645‑HT Технический лист — Технический лист — PDF — 163 KB — 11 декабря 2025
• Trek 646 Технический лист — Технический лист — PDF — 116 KB — 18 февраля 2024
• Electrostatic Semiconductor Wafer Clamping/Chucking System (ESC) Application Note — Применяемая заметка — PDF — 607 KB — 15 июня 2023

Области применения Для процессов производства полупроводников, требующих надёжного управления питанием electrostatic chucks: осаждение, травление, внедрение и электронно‑лучевая инспекция.

Технические характеристики

• Параметры управления: over‑current, wafer‑present, пороги wafer‑clamped
• Управление напряжением: регулируемые зажимное и смещающее напряжения
• Управление смещением: внутренний или внешний контроль DC‑bias
• Управление последовательностью: настраиваемые clamp/de‑clamp и программируемые формы волн
• Основные преимущества: снижает повреждения пластин, предотвращает прилипание и popping, улучшает выход годных и пропускную способность
• Указанные модели: Trek 645, Trek 645‑HT, Trek 646