Стандартные конфигурации интерферометров ZYGO поддерживают множество сценариев измерений. Большинство интерферометров могут поддерживать прямолинейную или прямоугольную ориентацию измерений и могут быть изготовлены для работы в вакууме.
Этот прибор измеряет светоотражающие цели для отслеживания объектов, движущихся преимущественно в одном линейном измерении или вращающихся вокруг фиксированной точки. ZYGO предлагает линейные интерферометры стандартного и компактного размера для решения различных задач в условиях ограниченного пространства. Примеры: Штативы для ретикуляторов, портальные системы, рулевые зеркала
Данное устройство измеряет плоскозеркальные цели для отслеживания объектов, движущихся в нескольких линейных измерениях с ограниченным вращением. Интерферометры ZYGO с плоским зеркалом отличаются высокой стабильностью, что позволяет снизить тепловую погрешность. Примеры: Этапы изготовления пластин, системы штабелированных этапов
Этот прибор измеряет изменения показателя преломления для использования при компенсации других осей измерения. Компактный компенсатор длины волны ZYGO обеспечивает высокоточную обратную связь по изменению показателя для наилучшей производительности измерения смещения в условиях окружающей среды.
Завершение измерительной системы заключается в направлении луча от лазера к интерферометрам и, в конечном итоге, к измерительной электронике. ZYGO предлагает множество стандартных складных зеркал, делителей луча, оптоволоконных приемников и оптоволоконных кабелей для гибкой конфигурации измерительной системы.
---