Оптическая система контроля

автоматическаядля производствадля полупроводниковой пластины

Эта система может автоматически проверять и сортировать пластины для использования в производстве. Она имеет несколько интеллектуальных функций, таких как глубокое обучение, машинное зрение, оповещение о неисправностях и заводской интерфейс MES. Производительность Средняя производительность до 8500 пластин/час, проверенная в реальном массовом производстве Расширяемость Система может работать с носителями, загружающими от 25 до 150 пластин, и может быть интегрирована с устройством для очистки пластин Эффективность Двухъярусные лотки, сокращающие время работы рабочего Преимущество Быстрое послепродажное обслуживание и низкие эксплуатационные расходы Точность Высокоскоростные профильные датчики применяются для модуля измерения толщины, а камеры высокого разрешения используются для модулей контроля размеров и пятен для повышения точности контроля Точность Боковые стороны в направлениях X и Y проверяются для минимизации любого пропущенного обнаружения дефектов; микротрещины не могут избежать обнаружения благодаря точному контролю модуля микротрещин в направлении X.