Печь с камерой

вакуумнаяавтоматическаяпромышленная

Печи Наши печи полностью автоматизированы, оснащены удобными инструментами и разработаны для обоих процессов с различными регулируемыми зонами нагрева в полном соответствии с возможностями и потребностями заказчиков. Наше оборудование предназначено для этих типов пластин диаметром 100, 150, 200, 300 мм. ВАКУУМНЫЕ ПЕЧИ Vegatec разрабатывает и производит вакуумные печи со всей своей системой автоматизации для лаборатории и промышленности микроэлектроники, наноэлектроники и фотогальваники. Эти печи следующие; Химическое осаждение паров под низким давлением (LPCVD) Процессы таковы; Нитрид кремния Окись TEOS Низкотемпературный окись углерода (НТУ) Высокотемпературная окись углерода (HTO) Допированный поликремний кремний Оксинитрид кремния Поликремний кремний Силанизация Улучшенное плазменное химическое осаждение паров (УХОВГ) Процессы таковы; Окись кремния Нитрид кремния Оксинитрид кремния Допинг по фосфору и бору Вакуумный отжиг Общие характеристики вакуумных печей Простота в использовании и обслуживании благодаря удобной для пользователя конструкции Камера печи и держатель образцов кантилеверного типа из кварца высокой чистоты Возможность работы в чистых помещениях до 10 класса чистоты Возможность работы в вакууме до 10-6 мм Длительный срок службы благодаря высококачественным компонентам Отдельно управляемые зоны нагрева Простота использования интерфейса автоматизации Трубы для штабелируемых печей для компактной конструкции различных процессов одновременно Возможность ручной или автоматической загрузки Мощность в соответствии с каждым клиентом Лабораторный или промышленный масштаб