Machine de traitement 3D par laser Ultratech LSA 201

LSA201 Система отжига лазерных колосков для контроля микроклимата окружающей среды LSA201 Система лазерного отжига LSA201 Laser Spike Annealing (LSA) компании Veeco имеет ту же архитектуру, что и LSA101, но включает в себя запатентованную микрокамерную конструкцию, которая позволяет полностью контролировать температуру окружающей среды в сканирующей лазерной системе. Микрокамера уникальна тем, что не требует использования вакуумного нагрузочного шлюза. Система способна работать со смесями любых инертных газов, включая образующийся газ. LSA201 предназначен для таких областей применения, как активация узла затвора с высоким содержанием k металлических затворов и образование силицида никеля. LSA201 хорошо подходит для процессов с длиной волны менее 20 нм, таких как проектирование интерфейсов и модификация материалов, где управление окружающей средой имеет решающее значение Основные характеристики Длинная длина волны, угол Брюстера, p-поляризованный свет для оптимальной однородности внутри диода Регулирование температуры с обратной связью по замкнутому контуру для поддержания жесткого температурного контроля Независимая компоновка идеально подходит для обработки как строгальных станков, так и FinFET-устройств Локализованное поле напряжений с гибким временем выдержки позволяет обрабатывать вафли с минимальными напряжениями и снижает их износ