Машина для нанесения покрытий PVD NEXUS PVD-1

термическим испарениемтонких слоевдля оптоэлектроники

NEXUS PVD-1 компании Veeco - это однопластинчатая система физического осаждения паров. Это универсальный и простой в использовании инструмент для решения различных задач. Это гарантирует простоту, надежность и производительность во время любой операции. Система может быть изготовлена по индивидуальному заказу для различных приложений хранения данных, таких как осаждение оксидов и нитридов и различных магнитных материалов. Он может быть приобретен с широким диапазоном размеров пластин и высокопроизводительным, экономичным инструментом для полупроводников, GaAs и упаковочных приложений. Эта система физического осаждения паров может быть легко сформирована в соответствии с конкретными технологическими и производственными требованиями. Он поддерживает различные размеры пластин от 3" до 8" круглого сечения. В комплект поставки входят катоды, патроны для пластин, газовые коллекторы, жалюзи и насосные агрегаты. Он разработан для простой и быстрой интеграции с NEXUS Ion Beam Etch, ионно-лучевым осаждением и другими инструментами для физического осаждения паров. Предусмотренная модульность упрощает требования к обучению оператора и техническому обслуживанию, а также к складированию запасных частей.