ПОЛУАВТОМАТИЧЕСКИЙ ШЛИФОВАЛЬНЫЙ СТАНОК И ЗАСТРОЙЩИК ШТ
Особенности:
Удобный сенсорный интерфейс
До 5 линий дозирования
Моторизованный манипулятор с программируемой высотой дозирования
Малые габариты 600x625 мм
Автоматическая прозрачная крышка
Широкий выбор размеров патронов с прядильным покрытием
Быстрая и легкая смена патронов
Чашка для легкой очистки
LCS предназначен для полуавтоматического спинового покрытия и разработки пластин и плоских подложек и будет лучшим выбором для пилотных проектов, институтов и НИОКР. Она гарантирует высокую равномерность и воспроизводимость в сочетании с простотой эксплуатации и обслуживания. Он может обрабатывать пластины размером до 150 мм или квадратные подложки размером до 125x125 мм.
Для лучшей химической совместимости с дозируемыми химикатами чаша может быть изготовлена из POM, анодированного алюминия, полипропилена, нержавеющей стали или PTFE.
Настройка процесса нанесения спинового покрытия осуществляется с помощью удобного сенсорного дисплея. Пользователь может запрограммировать до 50 рецептов с 20 этапами. Каждый этап может иметь различные параметры скорости, ускорения и времени.
Варианты:
Ополаскивание задней стенки (BSR)
Удаление кромки шарика (EBR)
Пневматическая система дозирования шприцев
Моторизованная система дозирования шприцев
Система дозирования бутылок под давлением с цифровым манометром и контролем давления
Различные вакуумные или механические патроны
инструмент выравнивания пластин
Чаша из анодированного алюминия, полипропилена или PTFE
Спецификации:
Размер вафли до, мм -
150
Размер подложки до, мм -
125x125
Диапазон скоростей, об/мин -
0 - 10 000
Линии дозирования -
до 5
Сохраненные программы -
практически неограниченный
Напряжение питания -
230 В перем. тока 50/60 Гц 15А
давление подачи CDA, бар -
4-5
соединительная трубка CDA, мм -
8
Выхлопная труба, м3 -
55-60
Выхлопной патрубок, мм -
50
Труба со сливным патрубком, мм -
12
Габаритные размеры, мм -
600x625x1300
---